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【摘要】研究了激光摻雜選擇性發(fā)射極匹配的擴散工藝，通過調整不同的工藝參數(shù)，達到相同的高方阻，比較了不同方法獲得的高方阻的均勻性，得到了在105Ω/□左右的高方阻仍能保持較好均勻性的擴散工藝。通過調整激光功率形成不同的重摻雜區(qū)方塊電阻，研究了不同的重摻雜區(qū)方…