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超快激光器（皮秒或飛秒型）在微電子設(shè)備和納米電子設(shè)備開發(fā)和生產(chǎn)用薄膜圖案加工中的應(yīng)用日益廣泛，其產(chǎn)品應(yīng)用包括光伏電池、顯示器、傳感器或大幅面有機電子產(chǎn)品等。超快激光器的主要優(yōu)勢包含熱效應(yīng)有限、能量散發(fā)快，有助于實現(xiàn)復(fù)雜的超薄型多層薄膜結(jié)構(gòu)的花色處理。 …